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[发明专利]一种化学槽的自动清洗装置-CN201510397251.2在审
发明人：吴军;李阳柏;张传民 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-07-08 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学槽的自动清洗装置，包括清洗药液供给配管、清洗药液排放配管以及药液控制单元；清洗药液供给配管用于向化学槽输送去除颗粒杂质的清洗药液，清洗药液供给配管上具有控制清洗药液输送的输送开关；清洗药液排放配管用于排放化学槽内清洗后的清洗药液，清洗药液排放配管上具有控制清洗药液排放的排放开关；药液控制单元用于控制输送开关以及排放开关的启闭以及清洗药液的流量和清洗时间。本发明通过设置的清洗药液供给配管、清洗药液排放配管以及药液控制单元对化学槽内累积的颗粒杂质进行及时并彻底的清洗，避免了对后续化学槽内待清洗的硅片形成交叉污染，提高了硅片的洁净度。
一种化学自动清洗装置

[实用新型]一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统-CN201921657478.6有效
发明人：王冬雪;孙小杰;王大伟;黄磊;郭成钢 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统，包括预清洗部和慢提拉部，还包括第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部和第二溢流清洗部，预清洗部、第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部、第二溢流清洗部与慢提拉部依次设置，并通过移动抓取装置连通，对硅片依次进行清洗；慢提拉部以一定倾斜角度倾斜设置，以使得硅片表面水分拉干；第一药液清洗部中的药液为清洗剂溶液；第二药液清洗部中的药液为高浓度清洗药液溶液；第三药液清洗部中的药液为低浓度清洗药液溶液。本实用新型的有益效果是对硅片进行三次药液清洗，硅片表面洁净度高，提高硅片表面洁净度，提升后续电池片的转化效率。
一种超大尺寸单晶硅清洗系统

[发明专利]光伏电池制造用清洗机-CN201710471245.6在审
发明人：叶春杰;王新华;张昕宇;金浩;张何;何文新;唐昌 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2017-06-20 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏电池制造用清洗机，包括用于采用药液清洗待清洗件的药液清洗器；用于采用水清洗待清洗件的水清洗器；其中，药液清洗器具有药液清洗槽，药液清洗槽设有第一排放口和第一补液口；水清洗器具有水清洗槽和位于水清洗槽内的喷淋部件，水清洗槽设有第二排放口和第二补液口。本发明公开的光伏电池制造用清洗机，能够在药液清洗槽内完成药液清洗、在水清洗槽内完成水清洗，则药液清洗槽内的药液能够进行多次清洗，水清洗槽内的水能够进行多次清洗，较现有技术采用同一个清洗槽进行药液清洗和水清洗相比，有效提高了药液和水的利用率，降低了药液成本和水成本，从而降低了清洗成本。
电池制造清洗

[发明专利]回收杯清洗方法以及基板处理装置-CN200710160337.9无效
发明人：桥诘彰夫 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-12-19 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： B08B9/08 文献下载
摘要：本发明提供一种回收杯清洗方法和基板处理装置，该回收杯清洗方法是对回收杯进行清洗的方法，回收杯具有对回收空间划分的内壁，为回收引入至该回收空间的药液而将该药液引向给定的药液回收路径，其中，该回收空间引入有在基板处理中使用过的药液，该方法包括：清洗液清洗步骤，采用清洗液对所述回收空间的内壁进行清洗；药液清洗步骤，在该清洗液清洗步骤之后，采用与应经由所述回收空间回收的所述药液相同种类的清洗用药液，对所述回收空间的内壁进行清洗；废弃步骤，将在所述清洗液清洗步骤中引入至所述回收空间的清洗液、和在所述药液清洗步骤中引入至所述回收空间的清洗用药液引向与所述药液回收路径不同的废液路径而废弃。
回收清洗方法以及处理装置

[实用新型]角膜塑形镜清洗装置-CN201920133137.2有效
发明人：林思轩 -专利权人：林思轩
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： G02C13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种角膜塑形镜清洗装置，涉及角膜塑形镜配件技术领域，包括壳体、积水盒和积药液盒，壳体上开设有容纳角膜塑形镜的清洗槽，积药液盒内设有多个药液腔，每个药液腔分别通过一个药液水泵连通清洗槽，积水盒内设有清水储腔和废水回收腔，清水储腔通过清水水泵连通清洗槽，废水回收腔通过水侧电磁阀连通清洗槽。本实用新型实现角膜塑形镜的自动清洗，实现清水冲洗、药液浸泡以及再次冲洗。并且本实用新型利用积药液盒存储清洗药液，解决清洗药液携带麻烦、瓶子大、占空间、外出旅行不易携带的麻烦。同时在清洗过程自动滴加清洗药液，解决清洗药液浪费过多问题。
角膜塑形清洗药液清洗槽本实用新型药液盒连通废水回收清洗装置积水盒药液腔储腔壳体清水配件技术领域清水冲洗清水水泵清洗过程外出旅行药液浸泡自动清洗携带电磁阀滴加瓶子水泵冲洗存储容纳

[发明专利]一种晶片清洗方法-CN202111659222.0在审
发明人：郑金龙;吴倩;周铁军;马金峰;资云玲 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片清洗方法，旨在保证晶片清洗质量的同时保证清洗后晶片的氧化层的均匀性，其技术方案：一种晶片清洗方法，包括如下步骤：S1：先采用第一蒸汽药液清洗晶片，再用去离子水冲洗晶片；其中，所述第一蒸汽药液为酸性药液；S2：先采用第二蒸汽药液清洗晶片，再用去离子水冲洗晶片；其中，所述第二蒸汽药液为碱性药液；S3：先采用第三蒸汽药液清洗晶片，再用去离子水冲洗晶片；其中，所述第三蒸汽药液为碱性药液；S4：先采用第四蒸汽药液清洗晶片，再用去离子水冲洗晶片；其中，所述第四蒸汽药液为酸性药液；S5：风干晶片，属于晶片清洗技术领域。
一种晶片清洗方法

[实用新型]恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽-CN201920657390.8有效
发明人：张怀宣 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽。恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，包括：药液循环泵，药液循环泵与晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；设置于所述药液管处的加热设备；设置于所述药液管内的温度传感器；控制器，控制器分别与药液循环泵、加热设备以及温度传感器连接，及其含有恒温供液系统的清洗槽。本实用新型的恒温供液系统通过设置加热设备对药液管内的药液温度进行调节，使得进入晶圆清洗槽内的药液温度能够保持在23℃±0.1℃之内，提高晶圆的清洗效果。同时提供含有恒温供液系统的清洗槽，用于清洗晶圆。
供液系统药液循环泵晶圆清洗药液管加热设备清洗槽本实用新型温度传感器控制器晶圆清洗效果楼层连通清洗

[发明专利]一种硅片沾污不良返工方法-CN202210922992.8在审
发明人：史海仝;张堪;白玉麟;王超;王帅;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片沾污不良返工方法，对硅片依次进行第一药液清洗、碱清洗、第二药液清洗和酸清洗，其中，第一药液清洗步骤中，采用第一药液进行超声、滚动清洗；碱清洗步骤中，采用碱溶液进行超声、滚动清洗；第二药液清洗步骤中，采用第二药液进行滚动清洗；酸清洗步骤中，采用酸溶液进行滚动清洗。本发明的有益效果是依次对硅片进行第一药液清洗、碱溶液清洗、第二药液清洗及酸溶液清洗，将硅片表面的颗粒、有机沾污及金属沾污去除，使得硅片表面洁净，达到品质要求，提高不良硅片的返工成功率，减少硅片的不良品，
一种硅片沾污不良返工方法

[发明专利]回收配管清洗方法以及基板处理装置-CN201710858481.3有效
发明人：土桥裕也;三浦淳靖;辻川裕贵;藤田和宏;池田昌秀 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并能降低清洗用药液的消耗量的回收配管清洗方法及基板处理装置。该方法为清洗回收配管的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯引导至回收配管，回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，包括：配管清洗工序，通过对回收配管供应清洗液并且将被引导至回收配管的液体引导至与药液回收配管不同的排液配管，从而用清洗液清洗所述回收配管内；清洗用药液供应工序，配管清洗工序后，为了将回收配管内存在的清洗液替换为与药液同种的清洗用药液，将被引导至回收配管的液体引导至所述排液配管，并且对回收配管供应来自与回收配管相连的清洗用药液供应配管的清洗用药液
回收清洗方法以及处理装置

[实用新型]一种药液管路清洗系统-CN202121813364.3有效
发明人：马得泉;邵忠武;南原;周哲人;赵佳强;张新亚 -专利权人：北京东华原医疗设备有限责任公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药液管路清洗系统，包括煎药机、包装机和药液输送管路清洗装置，所述包装机与煎药机之间通过药液输送管路连接；药液输送管路清洗装置包括连接在外部水源与所述药液输送管路之间的进水机构；所述药液输送管路清洗装置还包括设置在药液输送管路上的三通切换阀，所述三通切换阀的进水接口与所述进水机构的出水口端连接，用于将外部水源输送至所述药液输送管路中对所述药液输送管路进行清洗；该清洗系统结构简单，与现有清洗系统相比缩短了管路清洗的时间，提高了清洗效率；能够实现在每次排药后都对药液输送管路进行清洗，有效地避免新药液排药时与排药管路中之前残留的药液混药的现象发生。
一种药液管路清洗系统

[实用新型]一种用于热法海水淡化装置的硬垢清洗装置-CN202123253294.3有效
发明人：樊智锋;武广;李海红;张萌 -专利权人：上海电站辅机厂有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于热法海水淡化装置的硬垢清洗装置。本实用新型的硬垢清洗装置包括清洗药液喷淋装置、清洗药液循环装置、清洗药液箱、泥浆增压装置、泥水分离装置、分离药液收集装置和分离药液提升装置。本实用新型的硬垢清洗装置将泥水分离与硬垢清洗技术结合，即将清洗系统和药液悬浮物浓度控制系统相结合，药液悬浮物浓度控制系统可以控制清洗药液中的悬浮物浓度在2‑6g/L，从而提高清洗药液的利用率30％以上，提高单位时间硬垢清洗速率20％以上。解决了常规硬垢清洗时清洗时间长、药剂利用率低的问题。
一种用于法海淡化装置清洗

[实用新型]硅片传输用滚轮清洗设备-CN202321105810.4有效
发明人：刘世科;王小伟;赵赞良;李卫东;王武林;赵永涛;闫鹏;王靖栋;马普明;耿金龙;马洋;陈硕 -专利权人：宁夏隆基光电科技有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片传输用滚轮清洗设备，包括清洗槽和与清洗槽相连的药液连通组件，清洗槽用于放置待清洗滚轮，药液连通组件用于连通刻蚀机中的刻蚀槽，刻蚀槽用于容纳药液，药液连通组件用于将刻蚀槽内的药液输送至清洗槽内本实用新型实施例中，通过药液连通组件能够将刻蚀槽内的药液输送至清洗槽内，以使药液与清洗槽内的待清洗滚轮的表面附着的硅粉进行反应，从而实现对待清洗滚轮的清洗，避免了通过硅片磨合滚轮的方式去除滚轮表面的污染造成的硅片良率降低甚至碎片报废
硅片传输滚轮清洗设备

[发明专利]一种洗浆机表面结垢物清洗装置与清洗方法-CN201210073017.0有效
发明人：万政;周鲲鹏;徐应盛 -专利权人：湖南骏泰浆纸有限责任公司
申请日： 2012-03-20 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： B08B9/027 文献下载
摘要：一种洗浆机表面结垢物清洗装置与清洗方法，清洗装置包括洗浆机（2）；与所述洗浆机（2）的滤液管连接的药液循环槽（3）；与所述药液循环槽（3）下部通过管道连接的药液循环泵（4）；所述药液循环泵（4）的出口通过管道与所述洗浆机（2）的顶部喷淋管（1）或/和底部的清洗管连接。清洗方法包括：向所述药液循环槽（3）内加入清洗药液；启动药液循环泵（4），将所述清洗药液泵入洗浆机（2）的顶部喷淋管（1）或/和底部的清洗管对所述洗浆机（2）进行循环清洗；清洗完毕，停用药液循环泵（4），对洗浆机进行吹扫和清洗干净。
一种洗浆机表面结垢清洗装置方法

[发明专利]一种用于热法海水淡化装置的硬垢清洗装置-CN202111579865.4在审
发明人：樊智锋;武广;李海红;张萌 -专利权人：上海电站辅机厂有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于热法海水淡化装置的硬垢清洗装置。本发明的硬垢清洗装置包括清洗药液喷淋装置、清洗药液循环装置、清洗药液箱、泥浆增压装置、泥水分离装置、分离药液收集装置和分离药液提升装置。本发明的硬垢清洗装置将泥水分离与硬垢清洗技术结合，通过控制清洗药液中的悬浮物浓度2‑6g/L，从而提高清洗药液的利用率30％以上，提高单位时间硬垢清洗速率20％以上。解决了常规硬垢清洗时清洗时间长、药剂利用率低的问题。
一种用于法海淡化装置清洗

[实用新型]一种高品质硅片清洗系统-CN201821903645.6有效
发明人：王冬雪;高树良;谷守伟;赵越;崔伟;侯建明;郭志荣;郭俊文 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高品质硅片清洗系统，包括第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、酸洗部和第二溢流清洗部，第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、酸洗部和第二溢流清洗部依次设置，通过移动抓取装置连通本实用新型的有益效果是大尺寸硅片清洗更加方便快捷，且硅片清洗效率高，采用预清洗、药液清洗、溢流漂洗、药液清洗、酸洗和溢流清洗，能够有效去除硅片表面的杂质，提高硅片的表面清洁度。
一种品质硅片清洗系统

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